ASTM F 1059-1987 计算正性光致抗蚀剂的对比度和阈限灵敏度
作者:标准资料网 时间:2024-05-04 23:37:11 浏览:9157
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【英文标准名称】:CalculatingtheContrastandThresholdSensitivityofaPositivePhotoresist
【原文标准名称】:计算正性光致抗蚀剂的对比度和阈限灵敏度
【标准号】:ASTMF1059-1987
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1987
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:数学计算;工艺;电子工程;灵敏度;光导电池;感光度
【英文主题词】:mathematicalcalculations;sensitivity;electronicengineering;sensitivitytolights;processes;photoconductivecells
【摘要】:
【中国标准分类号】:G84
【国际标准分类号】:37_040_30
【页数】:2P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:计算正性光致抗蚀剂的对比度和阈限灵敏度
【标准号】:ASTMF1059-1987
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1987
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:数学计算;工艺;电子工程;灵敏度;光导电池;感光度
【英文主题词】:mathematicalcalculations;sensitivity;electronicengineering;sensitivitytolights;processes;photoconductivecells
【摘要】:
【中国标准分类号】:G84
【国际标准分类号】:37_040_30
【页数】:2P;A4
【正文语种】:英语
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